У процесі плазмохімічного осадження з парової фази (PECVD) кожне електричне з'єднання, від передачі радіочастотної енергії до контролю технологічного газу, безпосередньо впливає на рівномірність осадження тонких плівок та вихід чіпа. Зіткнувшись із суворими умовами мініатюрного обладнання, високого вакууму та сильних електромагнітних перешкод,WAGOРоз'єми picoMAX® з трьома основними перевагами: «компактність, надійність та ефективність», стали ідеальним рішенням для з'єднання систем PECVD.
Інноваційний компактний дизайн
Адаптація до компонування прецизійних камер
Внутрішній простір обладнання PECVD обмежений, що вимагає щільного розташування ліній живлення, сигнальних та сенсорних ліній навколо реакційної камери. picoMAX® використовує конструкцію з однією пружиною, подвійної дії, з кількома доступними кроками між контактами 3,5/5,0/7,5 мм. Після з'єднання він займає на 30% менше місця, ніж попередні продукти, ідеально адаптуючись до вимог до проводки навколо камери. Його роз'єм отвору майже повністю вбудований у контактний колодку, що забезпечує пліч-о-пліч збірку без втрати полюсів, значно покращуючи використання друкованої плати та забезпечуючи впорядковане розташування ліній живлення та сигнальних ліній без перешкод для поля потоку технологічного газу.
Надійний захист від екстремальних умов експлуатації
Процеси PECVD передбачають використання високого вакууму, високочастотної плазми та вібраційних середовищ, що висуває суворі вимоги до надійності роз'ємів. picoMAX® має стабільну конструкцію з вібростійкістю до 12g, що запобігає розхитування з'єднання, спричиненому високочастотною вібрацією. Він також включає конструкцію захисту від неправильного введення та фіксуючий пристрій, що усуває помилки встановлення та запобігає випадковому відключенню, забезпечуючи безперервну роботу обладнання без простоїв.
Швидке з'єднання без інструментів
picoMAX® оснащений технологією швидкого з'єднання без інструментів, що дозволяє виконувати з'єднання "підключи та утримуй" як для одножильних, так і для багатожильних проводів за допомогою холоднопресованих роз'ємів. Складні проводові з'єднання виконуються за один крок, що значно підвищує ефективність складання та скорочує цикли налагодження. Модульна конструкція сумісна з процесами паяння оплавленням, задовольняючи потреби автоматизованого виробництва у зниженні витрат. Вона також охоплює всі сценарії з'єднання PECVD: крок між контактами 3,5 мм підходить для сигнальних проводів перерізом 0,2-1,5 мм², тоді як крок між контактами 5,0/7,5 мм підтримує лінії живлення 16 А. Він підтримує методи монтажу "дрот-плата" та монтажу через стіну, сумісний з шафою керування та проводкою в порожнинах, а також відповідає стандартам електробезпеки GB/T 5226.1, створюючи надійний захист для стабільності процесу.
У напівпровідниковій промисловості, де точність процесу на нанометровому рівні є надзвичайно важливою, надійні з'єднання є гарантією високої продуктивності.WAGOpicoMAX®, завдяки своїй революційній концепції дизайну продукту, досягає «малого розміру, високої продуктивності» в компактних розмірах, забезпечуючи стабільні, ефективні та довговічні рішення для з'єднання обладнання PECVD. Це допомагає виробникам напівпровідників подолати проблеми прецизійних технологічних з'єднань, забезпечуючи мікрометрову точність кожного чіпа.
Час публікації: 13 березня 2026 р.